Требования к фильтрам для очистки - поддержание среды

На основе изложенного выше материала можно сформулировать следующие требования к фильтрам. Расширение ассортимента фильтруемых химических реактивов требует создания фильтров с высокой стойкостью к различным агрессивным средам. Увеличение мест установки фильтров связано с обеспечением большего количества точек обслуживания. Необходимо уменьшение частоты замен фильтров и создание нормальных условий обслуживания, а также обеспечение устойчивости к агрессивным средам в течение Длительного времени. Увеличение числа мест установки фильтров приводит к увеличению их общей стоимости.

Под разнообразием условий применения фильтров следует понимать их использование в процессах, соответствующих конкретным условиям производства. Общепризнано, что в дальнейшем роль фильтров в полупроводниковом производстве будет возрастать, причем они будут оказывать значительное влияние на повышение производительности. Широкое использование фильтров и опыт их эксплуатации способствуют возникновению различных новых технических решений, улучшающих процесс фильтрации. В будущем важно объединять усилия изготовителей фильтров и тех, кто использует их в процессе производства. До настоящего времени разработка фильтров шла по пути создания их с универсальными характеристиками, но в дальнейшем необходимо, по-видимому, переходить к производству фильтров специального назначения.

Цели определения концентрации микрочастиц в жидкостях, применяемых в сверхчистых помещениях, состоят в следующем:

• контроль уровня очистки жидкости,
• контроль функционирования системы очистки и подачи жидкостей, а также предотвращение отказов в системе,
• обеспечение высокого выхода годных приборов.

Для выполнения указанных целей необходимо проводить измерения через установленные промежутки времени и выполнять их в реальном масштабе времени. Практически все измерительные приборы, за исключением микроскопа, могут применяться в системах, работающих в реальном масштабе времени. Применяется система отвода потока, в которой магистральные трубопроводы или ванны оборудуются обводными трубопроводами, соединенными с датчиками, или система, в которой чувствительный элемент измерительного прибора встраивается в основную линию для подачи жидкости.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: