Фильтрация на местах использования - поддержание среды

При фильтрации важны не только эффективность и надежность, но и место, и способ применения фильтров. Способы применения фильтров отличаются в зависимости от качества реактивов, цели применения, места и объема фильтруемых сред. Фильтрация на местах использования относится к методу обработки реактивов при их применении. Существуют прямоточный и рециркуляционный методы такой фильтрации.

Прямоточная фильтрация

Прямоточный метод заключается в установке фильтров по длине трубопровода для подачи химического реактива. Ниже рассматриваются основные правила применения этого метода.

1. Следует заметить, что по возможности лучше применять рециркуляционный метод. Прямоточный метод применяется только тогда, когда нельзя применить рециркуляционный метод, например, при фильтрации газов и фоторезистов в процессе центрифугирования, распылении, в конечных точках подачи химических реактивов.

2. Фильтры лучше устанавливать в крайних точках трубопроводов.

3. Не устанавливать после фильтров насосы и вентили, содержащие трущиеся детали.

4. Использовать материалы, стойкие к химическим реакциям и выделению примесей. При длительной задержке реактива в трубопроводе перед применением его необходимо повторно очистить.

5. Учитывать загрязнение и высыхание на участке подготовки.

Рассмотрим общую схему фильтрации в месте использования на примере двухмагистральной установки для нанесения фоторезиста. Фоторезист брался из одной емкости и отфильтровывался фильтром с размером пор 0,2 мкм. При проведении фильтрации число проколов незначительно и сохраняется стабильно на низком уровне. Отсутствие фильтрации приводит к резкому увеличению числа проколов. В последнее время много внимания уделяется фильтрам с минимальными размерами пор, но важно также разрабатывать и другие фильтры с порами больших размеров, которые можно использовать одновременно. Когда фильтр устанавливается только на выходе насоса, как в рассмотренном выше примере, лучшие результаты даст применение фильтра с диаметром пор 0,2 мкм, чем с размером пор 0,01 мкм.

Рециркуляционная фильтрация

Рециркуляционный метод обеспечивает высокую эффективность фильтрации непосредственно перед использованием реактива, поскольку можно последовательно удалять частицы, появляющиеся в реактиве. Эффективным средством удаления взвешенных частиц в системах циркуляции является слив.

Показана общая схема системы со сливом в четырех направлениях. Наилучшие показатели фильтрации достигаются при скорости циркуляции, которая обеспечивает прохождение реактива по контуру за 3-5 мин. Однако при выборе скорости обращения необходимо учитывать условия фильтрации. Данные по эффективности удаления частиц методом рециркуляционной фильтрации на местах использования.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: