Основные методы фильтрации химических реактивов - поддержание среды

Частицы, содержащиеся в жидких, средах, оказывают значительное влияние на выход годных в производстве БИС. В процессе достижения приемлемого уровня очистки жидкостей приходится сталкиваться с рядом трудностей.

Процесс защитной фильтрации

Все жидкости, подаваемые в чистую комнату и отфильтрованные изготовителем химических реактивов, должны проходить повторную фильтрацию. В полупроводниковом производстве применяются несколько сотен видов химических реактивов. Безусловно, не все реактивы, поступающие в чистую комнату, проходят фильтрацию, но для легко фильтруемых жидкостей такая обработка не представляет трудностей. Еще несколько лет назад класс фильтруемых реактивов был сильно ограничен, затем ситуация стала меняться. Сначала была введена фильтрация маловязких реактивов, таких, как HF, Н202, NH40, и были достигнуты хорошие результаты. Преимущества фильтрации маловязких жидкостей стали очевидны после начала ее применения в процессе очистки плавиковой кислоты на этапе предварительной диффузии. Затем объектами фильтрации стали серная и азотная кислоты. С вводом фильтров, изготовленных полностью из фторуглеродистых соединений, могут быть сняты существующие до сих пор ограничения на фильтрацию ряда реактивов.

Оценка результатов фильтрации многих реактивов весьма затруднена в связи с тем, что в полупроводниковом производстве используется большое количество химических реактивов и технологических растворов и очень сложно оценить влияние фильтрации конкретного реактива на выход годных приборов. Оценить влияние фильтрации на выход годных приборов достаточно трудно. Удобно проводить такую оценку по уменьшению содержания частиц в конкретном технологическом процессе. Однако погрешности измерений не всегда дают возможность получить правильные данные по оценке фильтрации. Замечено, что наибольший эффект в повышение выхода годных вносит качественная фильтрация в процессах фотолитографии и диффузии. В современной практике основной принцип эффективной фильтрации заключается в установке фильтров в строго определенных местах магистралей.

В настоящее время размер частиц, подлежащих удалению, достиг уровня 0,15 мкм и разработка методики оценки их фильтрации встречает серьезные трудности. Если оценивать работу фильтров только по микрочастицам, вносимым оборудованием, то не будет учтена фоновая концентрация и эффективность фильтров будет недостоверной. Кроме того, оценивая эффект фильтрации только в одном процессе, нельзя сделать правильные выводы о фильтрации всего цикла операций. Метод, получивший название процесса защитной фильтрации, основан на полной очистке защитными фильтрами источников загрязнений и сокращении их очисток на всех операциях технологического процесса. Назначение таких защитных фильтров заключается в том, чтобы перекрыть пути доступа загрязнений. Защитные фильтры должны иметь конструкцию, гарантирующую не только эффективность фильтрации, но и стойкость к химическим реактивам, надежность и чистоту.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: