Уровень загрязнения химических реактивов - поддержание среды

Размер микрочастиц, вызывающих дефекты в процессе производства БИС, с каждым годом уменьшается. Как уже было показано ранее, для динамических МОП ЗУПВ емкостью 256 кбит это уже частицы размером более 0,15 мкм. Наблюдение таких частиц недоступно глазу человека и близко к пределу оптических микроскопов. Удаление частиц размером 0,15 мкм с поверхности пластины диаметром 150 мм равносильно сбору пылинок размером 0,15 мм с поля диаметром 150 м.

Полупроводниковое производство отличается разнообразием применяемых жидкостей, и количество содержащихся в них частиц зависит от вида реактива, технологии его изготовления и условий транспортировки. В таблице приведены результаты анализа содержания микрочастиц в химических реактивах для полупроводникового производства. Данные были собраны фирмой Millipore на протяжении ряда лет и свидетельствуют о значительном загрязнении реактивов. Совершенствование методов фильтрации химических реактивов в Японии позволило снизить количество микрочастиц на 1-2 порядка по сравнению со значениями, указанными в таблицах, но все же это еще очень много.

Как правило, реактивы с большим содержанием частиц включают и химические загрязнения, в частности металлы, оказывающие вредное воздействие на полупроводниковые приборы. Реактивы, применяемые в полупроводниковом производстве, не всегда можно отфильтровать. Чем выше плотность химикатов, Сильнее их окислительные свойства, а также чем сильнее проникающие свойства растворителей и разбухание в них частиц, тем больше частиц остается после фильтрации.

В последнее время и изготовители полупроводниковых приборов, и изготовители химических реактивов постоянно увеличивают ассортимент и объем фильтруемых жидкостей. Однако возможности очистки реактивов, поставляемых изготовителям приборов, ограничены. Кроме того, даже при самой совершенной очистке химических реактивов существует опасность их повторного загрязнения, что довольно часто наблюдается на практике. В настоящее время изготовителями химических реактивов разрабатываются системы для непосредственной подачи высокочистых реактивов к месту их использования.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: