Объекты очистки и источники загрязнения - поддержание среды

В процессах изготовления полупроводниковых приборов очистке подвергаются пластины, фотошаблоны, различные инструменты, реакторы технологических установок, элементы газовых магистралей и другие компоненты технологического оборудования. Ниже будет рассмотрена только очистка полупроводниковых пластин, используемых в производстве транзисторов и ИС.

Рассмотрим процесс изготовления наиболее широко применяемых в настоящее время n-канальных МОП ИС. Такой процесс состоит из четырех основных этапов: окисления-диффузии, фотолитографии, пассивации и формирования разводки и занимает около 30 дней. Полупроводниковые пластины на каждом этапе обработки загрязняются ионами и молекулами металлов и органических веществ. В реакторе на поверхности пластины образуются скопления продуктов реакций и частиц кварца, используемого для изготовления оснастки. Кроме того, пластины между операциями хранятся в виде полуфабриката и затем транспортируются в кассетах на участок проведения следующей технологической операции. За это время на их поверхности образуется тонкий слой естественного оксида, и, кроме того, к ним прилипают частицы пыли.

Слой естественного оксида на поверхности пластин образуется при их промывке водой и хранении в межоперационной таре и является поверхностным загрязнением. Рисунок иллюстрирует процесс образования пленки такого оксида на поверхности кремниевой пластины (для удаления предшествующего слоя оксида пластина была протравлена в плавиковой кислоте) во время ее обработки в течение 10 мин в сверхчистой воде и последующего хранения при температуре 25 °С и относительной влажности 40%. При всех условиях толщина пленки естественного оксида превышает 1 нм.

Как правило, проведение любой технологической операции начинается с очистки пластин с целью удаления прилипших частиц и естественного оксида, включающего в себя загрязнения от предыдущих операций обработки.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: