Обработка специальных газов - поддержание среды

В установках газофазной эпитаксии и сухого травления используется большое число токсичных, воспламеняемых и взрывоопасных газов, поэтому газовые выбросы от таких установок, как и подача к ним газов, производятся через индивидуальные трубопроводы.

Это необходимо также и для того, чтобы предотвратить опасность возможных химических реакций в этих газах. Методы обработки специальных газов зависят от их состава и состава реакционных веществ, содержащихся в рабочей камере технологического оборудования. При смешивании различных газов возможны комбинации методов обработки. При использовании плазменного оборудования химические реакции очень сложны, поэтому следует подходить с осторожностью к выбору конкретного метода обработки и учитывать это обстоятельство при выведении газов после обработки.

Основные процессы в производстве полупроводников связаны с формированием слоев и процессами травления, при которых образуются отработанные газы.

Структурные схемы оборудования обработки газовых выбросов

Существуют три типа структурных схем оборудования обработки газовых выбросов:

Схема обработки в локальных устройствах. В этом случае у каждой технологической установки, где образуются отработанные газы, устанавливается оборудование по их обработке.

Преимущества этой системы:
• надежность обработки и высокая степень безопасности,
• экономичность, обусловленная наиболее полной возможностью регулирования оборудования,
• возможность быстрого принятия мер по ликвидации аварии в цехе. К недостаткам схемы относятся:
• большое количество единиц оборудования,
• требуется площадь для установки оборудования в производственном помещении,
• увеличивается длина системы трубопроводов.

Централизованная схема обработки. Схема, предполагающая установку всего оборудования обработки газов на крыше или на земле.

Преимущества этой схемы:
• небольшое количество оборудования,
• небольшая площадь, занимаемая трубопроводами.

Недостатки схемы:
• сложность регулировки воздушных потоков в каждом технологическом процессе.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: