Технологическое оборудование - поддержание среды

Трубопровод, соединяющий баллон с моносиланом и установку газофазной эпитаксии, должен быть по возможности коротким, иметь минимальное число соединений и изготавливаться из нержавеющей стали, а соединения должны быть плотными и быстроразъемными.

Для мгновенного отключения основного баллона с моносиланом в случае утечки газа применяется автоматический пневматический отключающий клапан, работающий на азоте или другом инертном газе. Следует избегать применения для этих целей электромагнитных клапанов.

При обнаружении утечки моносилана необходимо немедленно перекрыть трубопровод и организовать туда подачу инертного газа, например азота, что позволит разбавить оставшийся в трубе моносилан и продуть трубопровод.

В установке газофазной эпитаксии, работающей при низком давлении, откачка газа из рабочей камеры производится с помощью вакуумного насоса. Выбрасываемый наружу моносилан смешивается с кислородом воздуха и воспламеняется, поэтому его необходимо разбавлять инертным газом, например азотом, и только после этого выбрасывать наружу. Количество разбавляющего газа должно быть достаточным, чтобы концентрация моносилана в разбавленной смеси не превышала порог самовоспламенения, т.е. необходимо поддерживать количество разбавляющего газа несколько ниже установленной концентрации, для чего используется датчик расхода газа. В случае снижения расхода азота по сигналу датчика мгновенно прекращается подача моносилана.

Оставшийся в вакуумном насосе моносилан следует удалять с соблюдением правил безопасности, имея в виду, что у выходного отверстия вакуумного насоса моносилан вступает в реакцию с кислородом. В этом случае в результате реакции образуется двуокись кремния (Si02) в виде порошка, который прилипает к стенкам трубопровода, образуя засоряющий слой. Вследствие засорения труб уменьшается их сечение, и за счет увеличения скорости может произойти выход еще не вступившего в реакцию моносилана в окружающее пространство. Следовательно, необходим контроль за засорением трубопроводов и ходом реакции.

Соединения трубопровода, связывающего установку газофазной эпитаксии и вакуумный насос, должны иметь высокую надежность. При наличии дефектов соединений могут возникать утечки, и это приводит к снижению вакуума в рабочей камере установки. Через дефектные участки соединения наружный воздух может просачиваться в трубопровод и, смешиваясь с моносиланом, выводимым из установки, вызывать воспламенение. Это в свою очередь может привести к возгоранию масла в корпусе вакуумного насоса, поэтому устройство трубопровода, связывающего установку газофазной эпитаксии и вакуумный насос, не должно допускать утечек. Кроме того, необходимо применять в вакуумном насосе невоспламеняющееся или трудно воспламеняющееся масло. В случае снижения вакуума, регистрируемого вакуумметром, подача моносилана мгновенно прекращается и трубопровод продувается азотом.

Необходимо учитывать и тот факт, что в случае растворения не вступившего в реакцию моносилана в масле вакуумного насоса при замене масла моносилан может вступить в реакцию с кислородом воздуха, что может привести к воспламенению и взрыву.

Итак, мы рассмотрели вопросы безопасной работы в чистых помещениях, связанные с их конструкцией, устройствами регулировки воздушного потока и технологическим оборудованием в полупроводниковом производстве. При этом изучались факторы потенциальной опасности и приводились примеры средств предотвращения аварий. Безусловно, приведенные в настоящем разделе примеры являются достаточно общими и решение вопросов безопасности в чистых помещениях должно осуществляться с учетом конкретного технологического оборудования, места его эксплуатации и рационального использования химических реактивов и газов. Следует также проводить обучение персонала с целью повышения уровня его квалификации.

В процессе полупроводникового производства используется самое различное сложное технологическое оборудование, газы, химические реактивы, различные энергетические системы, и это требует знания соответствующей техники.

В будущем по мере развития полупроводникового производства можно ожидать дальнейшего повышения технического уровня. Вместе с этим применение недостаточно изученных химических реактивов и газов одновременно с усложнением энергетических систем, вероятно, приведет к повышению потенциальной опасности, поэтому потребуются разработка и широкое применение техники безопасной работы самого высокого уровня.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: