Проблемы, связанные с технологическим оборудованием, и меры безопасности - поддержание среды

Повышение степени интеграции полупроводниковых приборов сопровождается возрастанием технического уровня и усложнением производства. В технологическом процессе используется все большее число различных химических реактивов и газов, различные виды энергии и разнообразное оборудование, причем энергия может использоваться для нагрева, повышения давления, охлаждения веществ или проведения химических реакций. Эта энергия в совокупности с многообразием применяемых веществ прямо или косвенно повышает потенциал опасности производства. Например, в случае утечек воды из охлаждающих линий трубопроводов может возникнуть короткое замыкание в цепи высокого напряжения, что может привести к пожару. При быстром охлаждении труб за счет большой разницы между температурой воды в трубопроводах и температурой окружающей средой на поверхности трубопроводов происходит пленочная конденсация паров воды, что также может служить причиной короткого замыкания и возникновения пожара. Чтобы избежать подобных ситуаций, охлаждающие трубопроводы защищают теплоизолирующими материалами и размещают на определенном расстоянии от систем высокого напряжения.

Повышение технического уровня и усложнение технологических процессов связано с большими нагрузками на персонал и возможностью ошибочных действий с его стороны. При нарушениях в работе технологического оборудования мгновенно принять меры по ее нормализации довольно трудно, и это делается часто с некоторым запаздыванием. Усложнение процесса всегда вызывает необходимость повышения уровня квалификации персонала, но полностью устранить ошибки персонала практически невозможно. Для уменьшения случаев ошибочного действия персонала следует идти по пути максимального упрощения рабочих операций и использовать механизмы блокировки ошибочного действия. На случай если ошибочное действие все же произойдет, необходимо в самом оборудовании предусматривать средства для обеспечения его нормальной работы.

Меры по обеспечению безопасной работы оборудования способствуют уменьшению влияния ошибок персонала. Даже тогда, когда в процессе нормальной эксплуатации возникают какие-либо неполадки, благодаря мерам по обеспечению безопасности происходит заблаговременное устранение возможности взрыва и пожара, а также предотвращение возможности аварии оборудования.

В последние годы наблюдается тенденция сокращения количества персонала в чистых помещениях с целью большего эффекта поддержания чистоты. В таких малолюдных чистых комнатах возникает серьезная опасность запаздывания обнаружения аварий и проведения срочных мер по их ликвидации. Поэтому в технологическом оборудовании для этих целей должны быть предусмотрены соответствующие средства. На рисунке представлена схема газофазной эпитаксии (CVD), в которой предусмотрены соответствующие меры безопасности.

Оборудование газофазной эпитаксии применяется для нанесения слоев оксидов, нитридов и др. на поверхность кремниевой пластины. Эта схема предусматривает меры обеспечения безопасности в системе подачи газа и системе вытяжки при низком давлении для случая использования в качестве реактива газа моносилана (SiH4).

Моносилан является самовоспламеняющимся газом, который самовозгорается при концентрациях в воздухе выше 3%. Следовательно, в случае утечек газа через швы в трубопроводах в больших концентрациях происходит воспламенение. По этой причине моносилан обычно разбавляется азотом. Моносилан содержится в баллонах с подсоединенными регуляторами подачи газа, которые помещаются в специальные ящики. Для сигнализации о воспламенении моносилана в ящике монтируются датчики, связанные с водяным душем. При срабатывании датчиков водяной душ, вмонтированный в ящик, мгновенно включается. Ящик для баллона с моносиланом изготавливается из негорючего материала, например из железа.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: