Проблемы, связанные с устройствами регулировки воздушного потока, и меры безопасности - поддержание среды

В процессе полупроводникового производства необходимы активный контроль и регулировка чистоты воздуха в помещении, его температуры и влажности. Чем выше степень интеграции полупроводниковых приборов, тем более высокие требования предъявляются к чистоте среды и точности контроля температуры и влажности. Для этой цели в чистых помещениях устанавливаются устройства регулирования воздушного потока и воздушные фильтры. Очищаемый фильтрами воздух подается в каждое из помещений по вентиляционным каналам. Из соображений экономии энергии к вентиляционным каналам часто подсоединяется всего одно устройство регулирования воздушного потока.

Количество очищенного воздуха, подаваемого в чистое помещение, зависит от класса чистоты помещения. Например, в чистом помещении класса 10000 кратность воздухообмена составляет 40-50 ч -1, а в чистом помещении класса 100 уже 300-500 ч -1, т.е. расход воздуха и кратность обмена в таких помещениях достаточно велики. Поэтому в случае утечек высокотоксичные газы, такие, как арсин, диборан и др., примешиваются к потоку воздуха в вентиляционных каналах и быстро проникают в другую комнату. Таким образом, при использовании системы одинарной регулировки воздуха токсичные газы от места утечки распространяются по другим отдаленным от места аварии помещениям. При этом несвоевременное оповещение об утечках токсичных газов является причиной запаздывания выведения персонала, что может вызвать панику.

Повышение эффективности чистых комнат требует постоянного поддержания и контроля чистоты (запыленности), температуры и влажности, и это приводит к тому, что воздух в чистых помещениях имеет высокую стоимость. Проблема снижения стоимости чистого воздуха, сводится к снижению потребления энергии. С позиции обеспечения качества воздуха (чистоты, температуры, влажности) следует стремиться сокращать количество забираемого наружного воздуха, однако в том случае, когда в комнату поступают за счет утечек токсичные газы, сильно загрязненный воздух уже не будет в достаточной степени разбавляться свежим наружным воздухом. В этом случае воздух с почти той же степенью загрязнения поступит в чистое помещение, эффекта разбавления токсичного газа не произойдет и может возникнуть опасность отравления персонала.

Системы регулировки подачи воздуха в чистые помещения сильно отличаются по производительности и функциональным возможностям от подобных систем в обычных помещениях. Следовательно, и меры по обеспечению их безопасной работы также имеют свои характерные особенности. Например, в месте работы с токсичными газами необходимо установить датчики токсичного газа в зоне, в вентиляционном канале на участке рециркуляционного потока воздуха или на участке вытяжки и осуществлять централизованный контроль. В случае аварии необходимо точно определить место и масштабы аварии и принять меры к выводу персонала из опасной зоны. Одновременно необходимо отключить устройство регулировки воздушного потока, закрыть шиберы на воздуховодах и принять меры к быстрому впуску свежего воздуха внутрь помещения. В системе вентиляционных воздуховодов необходимо предусматривать обводные каналы для быстрой изоляции аварийного участка вентиляционной сети и обеспечения впуска наружного воздуха.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: