Помещения с микровибрационной средой - поддержание среды

В зависимости от технологических процессов полупроводникового производства и характеристик оборудования можно установить предельно допустимые значения вибрационных характеристик помещения, в частности вибраций пола (плит перекрытия).

Допустимые значения вибрационных характеристик

Допустимые значения вибрационных характеристик определяются из условия нормальной работы прецизионных установок, количество которых обычно невелико. Амплитуда и частота вибраций, при которых полностью нарушаются технологические процессы на прецизионных установках, применяемых в электронной промышленности, могут быть определены по номограмме.

На этой номограмме по оси абсцисс отложена частота вибраций f, Гц; по оси ординат - предельная величина виброскорости X, см/с; по оси, направленной направо вверх, - значение амплитуды X, мкм, а по оси, направленной направо вниз, - величина виброускорения X, см/с2. Кроме того, на номограмме горизонтальными сплошными линиями отмечены уровни вибраций в децибелах. Пунктирные линии, идущие направо вниз, обозначают допустимые значения вибрационных характеристик для конкретного вида оборудования - микроскопов, устройств контроля и т. д. Точки на горизонтальных пунктирных прямых представляют собой примеры характеристик действительных колебаний пола в помещениях, где проведены мероприятия по снижению уровня вибраций.

Типы вибраций

На уровень вибраций, которые представляют опасность для нормального хода производственных процессов, накладываются весьма жесткие ограничения, причем для колебаний с различными частотами эти ограничения также различны. При низкой частоте допустимо большее значение амплитуды, чем при высокой. Высокочастотные вибрации и вибрации, вызванные ударными воздействиями, требуют к себе особого внимания.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: