Датчики контроля среды - контроль чистоты

Техника для регистрации взвешенных в воздухе частиц широко представлена в научно-технической литературе, и здесь приведены лишь краткие сведения по этому вопросу. Основное внимание уделено датчикам счетчиков взвешенных в воздухе частиц, основанных на эффекте рассеяния света. Такие датчики применяются в чистых комнатах при проведении процессов обработки полупроводниковых пластин.

Процессы производства СБИС требуют сверхчистых помещений класса 10 (0,1 мкм). В настоящее время датчики для регистрации частиц диаметром 0,1 мкм создаются только на базе лазерных источников света. В таблице приведены сравнительные данные различных типов датчиков, включая датчики с источниками света на галогенных лампах. Из таблицы видно, что для датчиков на основе лазерных источников света характерна малая величина потока воздуха, забираемого для анализа. Кроме того, такие датчики довольно дорогостоящи.

Основными стадиями технологического процесса при производстве СБИС являются химическая (влажная) обработка и плазмохимические процессы, литография и контроль, причем каждая из названных стадий включает несколько этапов. При формировании производственных линий могут наблюдаться существенные различия, однако обычно имеется около 10 опасных точек, в которых существует возможность загрязнений за счет взвешенных в воздухе частиц. На практике встречаются линии, в которых число опасных точек превышает 20. В таких случаях стоимость датчиков становится важным вопросом.

Необходимым условием для осуществления контроля среды на уровне 10 класса чистоты является достаточный расход воздуха, забираемого для анализа. Этим условием нередко пренебрегают, но поскольку оно иногда является ключевым при выборе датчика, то рассмотрим вопрос немного подробнее.

Пусть средняя продолжительность каждого этапа процесса 5 мин. Это означает, что опасность загрязнения возникает минимум один раз в течение 5 мин. Следовательно, время отклика датчика должно быть менее 5 мин. В случае использования датчика, для которого расход воздуха, забираемого для анализа, составляет 0,3 л/мин, число частиц, измеренное датчиком при контроле среды чистой комнаты класса 10, определяется по формуле 10 / 28,3л • 0,3 л/мин • 5 мин = 0,5.

Поскольку число частиц дискретно, значение 0,5 замерить невозможно, так как показание датчика может быть только 0 или 1. Если показание минимального числа частиц будет длительным, то при этом данные контроля среды будут искажены. Легко понять, что производить контроль таким датчиком бессмысленно.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: