Системы для контроля среды в чистых помещениях - контроль чистоты

Чистые производственные помещения (ЧПП) нашли очень широкое распространение в приоритетных отраслях промышленности и особенно в микроэлектронике. Этот факт объясняется тем, что они позволяют решать задачу предотвращения производственного брака, связанного с прилипанием взвешенных в воздухе частичек пыли к полупроводниковым пластинам или наиболее ответственным частям прецизионного оборудования.

Вообще наличие взвешенных частиц в воздухе в обычных производствах не вызывает опасений. В рассматриваемых условиях основной проблемой является их прилипание к пластинам и прецизионным частям оборудования. Следовательно, кроме полного анализа динамики образования, движения и прилипания взвешенных частиц необходимо осуществление контроля среды в производственных помещениях. Однако без оценки пространственного распределения источников пыли и изменений запыленности во времени, без исследования движения воздушных потоков в технологически ответственных точках невозможно создание системы эффективного контроля взвешенных в воздухе помещения частиц. При создании такой системы необходимо учитывать конструкцию чистой комнаты, особенности эксплуатации производственного оборудования, параметры технологического процесса и производственные условия, а также данные, характеризующие поведение взвешенных в воздухе частиц при их движении по всей высоте ЧПП.

Системы контроля среды в чистых комнатах впервые стали применяться примерно с 1982 г. в полупроводниковом производстве. Необходимость таких систем возрастает по мере повышения степени интеграции ИС. В настоящее время большое значение приобрел вопрос создания биологически чистых помещений.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: