Возможности фильтров - оборудование

Можно ожидать, что тенденция уменьшения размеров элементов СБИС приведет к необходимости контролировать взвешенные в воздухе частицы в производственном помещении вплоть до размеров от 0,1 до 0,05 мкм. При этом возникает вопрос, можно ли будет использовать для осуществления такой степени очистки воздуха современные НЕРА- и ULPA-фильтры. На рисунках представлены результаты измерения коэффициента проницаемости фильтрующих прокладок ULPA- и НЕРА-фильтров по отношению к частицам с размерами от 0,01 до 1 мкм. Представленные данные были получены в результате измерений на парах DOP с использованием устройства для измерения центров конденсации и диффузионной батареи. Из рисунков видно, что через указанные фильтрующие элементы легче всего проникают частицы с размерами от 0,1 до 0,2 мкм. Для частиц размером 0,05 мкм эффективность фильтрации на порядок выше. Как уже рассматривалось, в основе механизма фильтрации субмикронных частиц воздушными фильтрами лежат, вообще говоря, эффект экранирования и эффект диффузии.

Минимальная эффективность фильтрации, наблюдаемая для частиц 0,1 мкм, соответствует примерно средней части графика для обоих типов фильтров и хорошо согласуется с приведенными выше данными. Это означает, что, хотя в перспективе объектом контроля в сверхчистых комнатах станут частицы с размерами 0,05 мкм, в оборудовании для очистки воздуха все же можно будет достаточно эффективно использовать современные фильтры. На рисунке представлены также результаты измерений с помощью LAS, проведенных в одинаковых условиях. Из сравнения полученных кривых видно, что в отношении частиц с размером около 0,1 мкм результаты в обоих случаях хорошо согласуются, однако для частиц с размерами более 0,2 мкм результаты измерений коэффициента проницаемости счетчиком CNC (измерение центров конденсации) отличаются большими значениями. Можно предположить, что причиной этого являются различия характеристик измерительных устройств и методов анализа данных. В любом случае особенно желательной является оценка эффективности воздушных фильтров по отношению к частицам размером около 0,1 мкм.

На рисунке показана связь эффективности фильтрации НЕРА- и ULPA-фильтров для конкретных размеров частиц и скорости воздушного потока. Представленные данные получены с использованием лазерного теста. Из рисунка видно, что эффективность ULPA- фильтров примерно на два порядка выше, чем эффективность НЕРА - фильтров, и достигает для частиц с размерами 0,1 мкм значений свыше 99,999%. Поскольку фильтрация частиц размером 0,1 мкм осуществляется фильтрующими элементами в результате эффекта диффузии, то по мере снижения скорости воздушного потока через фильтр эффективность фильтрации повышается.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: