НЕРА- и ULPA- фильтры для чистых комнат - оборудование

Концентрация частиц пыли в воздухе чистой комнаты контролируется в пределах определенного диапазона. В частности, в сверхчистых комнатах класса чистоты 10 необходимо контролировать в воздушной среде взвешенные частицы пыли размерами до 0,1 мкм. Для этой цели требуются фильтры с высокой эффективностью фильтрации подаваемого в чистую комнату воздуха. НЕРА- и ULPA-фильтры на практике показали чрезвычайно высокую эффективность фильтрации взвешенных в воздухе частиц пыли субмикронных размеров. Эти фильтры широко используются для очистки воздуха в чистых комнатах. НЕРА (High Efficiency Particulate Ап)-фильтры, кроме того, эффективно применяются в атомной энергетике, в пищевой промышленности и в медицине в качестве высокоэффективных устройств очистки воздушной среды, например приточно-вытяжное оборудование устройств фильтрации радиоактивных веществ и др.

Гарантированная эффективность фильтрации НЕРА-фильтров для частиц DOP размером 0,3 мкм превышает 99,97%. Однако повышение степени интеграции ИС в полупроводниковом производстве вызывает необходимость контроля при очистке производственной среды загрязняющих частиц размером 0,1 мкм, т.е. появилась насущная потребность в создании более эффективных фильтров, чем НЕРА-фильтры. Такие высокоэффективные фильтры с эффективностью фильтрации загрязняющих частиц размером 0,1 мкм, превышающей 99,999% (так называемые 0,1-мкм фильтры), были разработаны и в 80-х гг. нашли широкое применение в сверхчистых комнатах.

Американским институтом науки об окружающей среде (IES-Institute of Environmental Science) были представлены так называемые ULPA-фильтры для частиц размером 0,1 мкм. ULPA (Ultra Low Penetration Аir) -фильтры- фильтры со сверхнизкой проницаемостью (в последние годы их сокращенно называют 0,1-мкм фильтрами)-уже нашли повсеместное распространение.

В настоящем разделе рассмотрены виды, конструкции, основные составляющие элементы конструкций, а также методы испытаний НЕРА- и ULPA-фильтров. Основные особенности этих фильтров приведены в стандарте «IES-RP-CC-001 -83-Т» (1983) на фильтры для чистых комнат, разработанном IES. Здесь также кратко описаны характеристики НЕРА- и ULPA-фильтров.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: