Необходимый уровень контроля среды - оборудование

В полупроводниковом производстве среди всех включаемых в него процессов обработка пластин требует наиболее жесткого контроля чистоты среды. Особо важное значение имеют включаемые в процесс фотолитографии этапы нанесения резиста, совмещение фотошаблона и экспонирование, а также травление. В частности, при совмещении фотошаблона и экспонировании необходимы поддержание сверхвысокой чистоты среды, сверхточный контроль температуры среды, низкий уровень вибраций и устранение электростатических зарядов.

В процессах электронно-лучевой литографии, рентгеновского экспонирования, «сухого» (плазменного) травления также требуется контроль электромагнитного поля. В таблице приведен необходимый уровень контроля среды на чистых местах, в чистых кабинах и чистых камерах с термостатированием. Таблица устанавливает соответствие между минимальной шириной линии и допустимыми значениями диаметра загрязняющих частиц и колебаний температуры, причем обычно контролируемый диаметр частиц устанавливается в 10 раз меньше минимальной ширины линии.

В процессе производства ИС емкостью 256 кбит, которые в настоящее время наиболее распространены, используются чистые коридоры класса 10, позволяющие поддерживать чистоту среды в пределах 10 фут -3 (350 м -3) при размерах загрязняющих частиц 0,1-0,2 мкм. Многочисленные процессы экспонирования при производстве таких ИС проводятся в чистых камерах с термостатированием (точность контроля температуры + 0,1°С, относительная влажность контролируется с точностью + 5%).

В ближайшем будущем основным направлением в полупроводникевой промышленности станет производство ИС класса 1 Мбит. При этом, по всей видимости, потребуется обеспечить следующие значения параметров контроля среды: размер загрязняющих частиц 0,05-0,1 мкм, концентрация загрязняющих частиц 10 фут -3 (350 м -3), точность контроля температуры + 0,05 - 0,01С, точность контроля относительной влажности среды + 3 %, вибрация пола - амплитуда менее 1 мкм в низкочастотном диапазоне до 30 Гц.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: