Чистые коридоры - оборудование

В наши дни развитие производства СБИС привело к значительным результатам. Сейчас уже можно сказать, что в пределах десяти лет станет возможным производство СБИС с объемом памяти 20 Мбит на 4-5-дюймовой (100-125 мм) пластине. Естественно, что это потребует соответствующей подготовки в сфере производства. В настоящее время на базе существующей технологии возможно производство СБИС с объемом памяти до 4 Мбит. Если существующая в настоящее время минимальная ширина линий рисунка, определяемая установками экспонирования, совмещения и мультипликации, останется неизменной, то для увеличения числа элементов СБИС необходимо пропорциональное увеличение размеров ее кристалла. В этом случае при сохранении производственной сферы на сегодняшнем уровне все же станет возможным создать СБИС объемом 10 и 20 Мбит.

Если же установки экспонирования будут развиваться и минимальная ширина линии в субмикронной области уменьшится до 0,1 мкм, то узким местом станет, вероятно, разработка измерительных устройств - для контроля эффективности фильтрации НЕРА-фильтров и оценки степени очистки среды. Если и эти проблемы будут решены, то потребуется производственное оборудование, хорошо защищенное от загрязнений, источником которых является человек. При этом к каждой единице производственного оборудования должна быть подведена приточно - вытяжная вентиляция с очисткой воздуха НЕРА - фильтром, а перемещение изделий между установками должно осуществляться без вмешательства человека. Для полной автоматизации процесса необходимо создание чистых технологических камер, к которым подводятся приточно-вытяжные вентилирующие устройства, НЕРА - фильтры и система автоматической подачи изделий. Для осуществления такого процесса необходимо создание чистых камер класса 1 (0,1 мкм), конструкции которых будут рассмотрены ниже.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: