Метод локального чистого пространства (пылезащитная камера) - чистые помещения

В производстве малогабаритных изделий, требующих особо чистых условий, например в линиях по производству СБИС, эффективная защита поверхности изделий от пыли осуществима в относительно малом пространстве с особо чистой средой. Это позволяет отказаться от сверхчистых помещений.

Отметим его характерные черты такого метода:

1. В зависимости от способа вентиляции класс помещения, в котором расположена пылезащитная камера, может быть понижен на один-два порядка.

2. Если пылезащитная камера размещается в помещении класса 1000 с турбулентной циркуляцией, то по сравнению со сверхчистыми помещениями с полной ламинарной циркуляцией существенно снижается энергопотребление с одновременным увеличением эффективности затрат.

3. Если в пылезащитной камере нужна сверхчистая среда, то в окружающей ее среде целесообразно создавать ламинарный режим

4. Поскольку рассматриваемая система является открытой, она технологична и ее легко перестроить.

5. Так как высокочистая среда создается в относительно малом объеме, следует принимать все меры для предотвращения пылевыделения оборудованием и обслуживающим персоналом.

Необходимо отметить, что этот метод эффективен в том случае, когда каждая камера снабжена собственной автономной вентиляционной системой. При условии предотвращения турбулентности в окружающей воздушной среде и автоматизации производственных линий рассмотренный метод может оказаться более перспективным по сравнению с другими методами создания сверхчистых сред.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: