Получение и подача сверхчистого воздуха - чистые помещения

Высокочистый воздух для чистых помещений до сих пор получают фильтрацией, используя НЕРА -фильтры (коэффициент фильтрации, определенный для монодисперсных аэрозолей с размерами частиц 0,3 мкм, выше 99,97 %). В НЕРА -фильтрах коэффициент фильтрации Р = 10 -4, но загрязнения, но и взаимного расположения источников загрязнения и изделий, а также направления потоков воздуха и адгезии микрочастиц на поверхности изделий.

В последние годы изучены источники загрязнений (одежда, перчатки, облицовка стен и др.) и свойства выделяющейся из них пыли. Получены данные об общем количестве и размерах частиц аэрозолей, выделяемых каждым источником в чистых помещениях различного типа. В частности, показано, что количество пыли от одежды зависит от материала, покроя одежды и поведения человека в чистом помещении и может изменяться в десятки раз. Поэтому весьма эффективным для снижения количества выделяющейся пыли оказывается программирование действий оператора внутри чистого помещения.

Характер движения воздуха и взвешенных микрочастиц в чистых помещениях исследован пока еще мало, хотя работы в этом направлении ведутся достаточно интенсивно. Следует учитывать, что поведение частиц субмикронного размера, удаление которых является наиболее сложной задачей при создании сверхчистых помещений, определяется в основном броуновским движением. При этом макроскопически частицы перемещаются вместе с потоком воздуха, что указывает на важность анализа конвекционных воздушных потоков.

Адгезия частиц к поверхностям изделий определяется плотностью, массой, скоростью диффузии в воздухе и электростатическими силами. Результаты фундаментального исследования этого явления приведены в работе. Дальнейшие успехи в развитии технологии производства высоконадежных полупроводниковых приборов в настоящее время связывают с автоматизацией производственных линий, которая позволит снизить трудоемкость и перейти к «безлюдной» технологии.

В аспекте высокой производственной чистоты автоматизация открывает путь к переводу производства из коридорных секций в замкнутые локальные сверхчистые секции, так называемые пылезащитные камеры или чистые боксы. Однако воплотить на практике такое производство можно только в том случае, когда будет исключено выделение пыли из оборудования, размещенного в пылезащитной камере. В связи с этим сейчас требуются дополнительные исследования в отношении пыли, пылеобразования и механизма адгезии частиц пыли.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: