Выбор оборудования для фильтрования - чистые помещения

1. При выборе очистного оборудования руководствуются в первую очередь техническим описанием и правилами эксплуатации оборудования. При этом должен быть проведен всеобъемлющий анализ условий эксплуатации оборудования, включающий следующие параметры:
• цель очистки воздуха (назначение чистого помещения);
• объем нагнетаемого атмосферного воздуха и концентрация в нем аэрозолей;
• объем циркулирующего воздуха и концентрация микрочастиц в помещении;
• количество выделяющейся в помещении пыли;
• габариты и вес вентиляторов;
• производительность и мощность очистного оборудования;
• эксплуатационные расходы.

2. Каких-то определенных правил выбора очистного оборудования не существует, однако мы считаем целесообразным придерживаться программы выбора.

Удаление частиц размером около 0,1 мкм. Коэффициент фильтрации монодисперсных аэрозолей с размером микрочастиц 0,3 мкм НЕРА-фильтрами превышает 99,97%. Однако в настоящее время в полупроводниковой технологии возникла проблема удаления микрочастиц с размерами около 0,1 мкм.

Вот возможные пути решения этой проблемы с использованием НЕРА-фильтров:
• многократная фильтрация воздуха;
• применение комбинированных методов фильтрации;
• многократная фильтрация с одновременным электростатическим осаждением;
• многократная рециркуляция;
• фильтрация с малым расходом воздуха.

Недавно проведены исследования по очистке атмосферного воздуха от пыли ULPA-фильтрами с улучшенными по сравнению с НЕРА-фильтрами характеристиками. В таблице приведены результаты измерения коэффициентов фильтрации микрочастиц размером около 0,1 мкм ULPA-фильтрами в сравнении со стандартными НЕРА -фильтрами (размер обоих типов фильтров 610 х 610 мм, толщина 150 мм).

Коэффициент фильтрации частиц размером 0,12-6,17 мкм ULPA-фильтрами достигает 99,9999% по сравнению с 99,999% у НЕРА-фильтров. При исследовании фильтрации монодисперсных аэрозолей (0,3 мкм) коэффициент фильтрации ULPA-фильтров составлял 99,994%. Вообще, коэффициент фильтрации варьируется довольно существенно не только в зависимости от методик измерения, но и от распределения по размерам улавливаемых микрочастиц. Обычно при фильтрации атмосферной пыли коэффициент фильтрации больше, чем при фильтрации монодисперсных аэрозолей.

Испытания обычно проводятся в соответствии с Федеральным стандартом США 209 В и Международным стандартом на чистые помещения.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: