Использование чистых помещений - чистые помещения

Возвращаясь к истории использования чистых помещений в электронной промышленности, в основе которой лежит производство полупроводников, отметим, что в процессе развития полупроводниковой технологии чистые помещения претерпели существенную эволюцию - от первых малогабаритных чистых комнат к большим чистым комнатам, затем к чистым технологическим блокам внутри чистых комнат и, наконец, к чистым помещениям коридорного, или туннельного, типа.

Разнотипные чистые помещения отличались способом создания высокочистого воздуха, степенью чистоты, уровнем контроля чистоты, стоимостью, энергетическими затратами, легкостью перестройки и переоборудования помещения. Поэтому тип помещения всегда оказывал большое влияние на выбор размещаемого оборудования и применяемых конструкционных материалов.

Сейчас очевидно, что для увеличения выхода годных высококачественных полупроводниковых приборов необходимо проектирование автоматизированных технологических процессов и удаление человека из производственной сферы.

В последние годы автоматизация технологических процессов развивается достаточно быстро, причем темпы развития непрерывно возрастают. Автоматизированные технологические процессы наилучшим образом сочетаются с чистыми помещениями коридорного типа. Другим удобным с точки зрения автоматизации вариантом является герметизация места проведения технологической операции с использованием пылезащитных камер и метода работы «из кассеты в кассету». Эти методы требуют меньших энергетических затрат на обработку воздуха в чистых помещениях и, вероятно, позволят создавать самые дешевые сверхчистые среды.

В результате совместных исследований, проведенных разработчиками СБИС и изготовителями фильтров, практически доказано, что при усовершенствовании фильтрующего материала высокоэффективные НЕРА-фильтры (High Efficiency Particulate Air) можно использовать в чистых помещениях с контролируемым размером частиц более 0,1 мкм. В настоящее время такие фильтры уже используются на практике и получили название ULPA-фильтров со сверхнизкой проницаемостью (Ultra Low Penetration Air). Дальнейшее усовершенствование фильтров этого типа для применения в массовом производстве является, безусловно, целесообразным, однако параллельно с этим необходимо развитие фундаментальных исследований в области фильтрации для решения проблемы контроля и удаления частиц субмикронного размера. Модернизация современной техники фильтрации воздуха выгодна из-за относительно малых капитальных затрат, тем не менее необходимо ускоренное развитие техники получения особо чистого воздуха, основанной на новых принципах очистки.

Ты просто обязан поделиться этой статьёй, жми кнопки внизу!
Написать комментарий
Имя*
Email
Сайт
Введите ответ: 17+3=?
Сообщение*: