Поддержание среды

Обработка специальных газов - поддержание среды

В установках газофазной эпитаксии и сухого травления используется большое число токсичных, воспламеняемых и взрывоопасных газов, поэтому газовые выбросы от таких установок, как и подача к ним газов, производятся через индивидуальные трубопроводы. Это необходимо также и для того, чтобы предот

Читать полностью

Обработка газовых выбросов - поддержание среды

При обработке газовых выбросов используются: 1) адсорбционный метод, 2) абсорбционный метод, 3) метод прямого сжигания, 4) метод каталитического окисления, 5) другие методы. Выбор конкретного метода зависит от типа образующегося газа, его концентрации и количества. В случае неорганиче

Читать полностью

Трубопроводы и вентиляционные каналы местной вытяжки газов - поддержание среды

Для обеспечения эффективного всасывания газов во входные устройства местных вытяжных систем скорость воздушного потока должна быть более 0,5 м/с, а при запыленных потоках - более 1,0 м/с. Необходимый для обеспечения указанной скорости воздушного потока расход воздуха определяется по формуле для

Читать полностью

Обработка выбросов газа - поддержание среды

Виды выбросов газа Испарения химических реактивов, используемых в процессах в чистых комнатах, и газы, содержащие ядовитые компоненты, должны выводиться за пределы производственных помещений. Все эти газы можно в основном разделить на: 1) неорганические газы (пары химических реактивов,

Читать полностью

Вторичное применение регенерированных стоков - поддержание среды

На стадиях отмывки в полупроводниковом производстве часто производится финишная отмывка сверхчистой водой, поэтому потребление воды в полупроводниковом производстве чрезвычайно велико. Поскольку содержание примесей в стоках воды после такой отмывки невысоко, регенерация этих стоков не представля

Читать полностью

Анализ загрязнения воды - поддержание среды

Первый этап проектирования установок для получения сверхчистой воды начинается с анализа загрязнения исходной воды. Выбор и размещение необходимого оборудования для очистки воды определяется количеством содержащихся в ней примесей и требуемыми показателями. Получение сверхчистой воды со стабильн

Читать полностью