Поддержание среды

Обработка сточных вод и выбросов газов - поддержание среды

В полупроводниковом производстве химическая обработка пластин применяется чрезвычайно широко, а число используемых при этом химических реактивов и газов достигает нескольких десятков. Среди них отравляющие вещества (РН3, AsH3 и др.), вредные вещества (HF, NH4OH, Н202 и др.), взрывоопасные вещест

Читать полностью

Примеси и анализ качества воды - поддержание среды

Примеси, содержащиеся в воде. Природная вода содержит следующие примеси. • Гидровзвеси: взвешенные в воде твердые микрочастицы глины, оксидов железа и красящие материалы. • Растворенные твердые компоненты: растворенные в воде неорганические соли, ионы кальция, натрия, хлора, ионы серной и уг

Читать полностью

Требования к фильтрам для очистки - поддержание среды

На основе изложенного выше материала можно сформулировать следующие требования к фильтрам. Расширение ассортимента фильтруемых химических реактивов требует создания фильтров с высокой стойкостью к различным агрессивным средам. Увеличение мест установки фильтров связано с обеспечением большего ко

Читать полностью

Чистая вода для чистых помещений - поддержание среды

Очистка воздуха в чистых помещениях связана с удалением аэрозольных частиц и микроорганизмов, а также регулированием его температуры и влажности. Получение чистой водам достигается удалением содержащихся в ней примесей и аналогично» очистке газов предполагает операции разделения и фильтрации. Од

Читать полностью

Выбор фильтров - поддержание среды

Системы для подачи технологических газов, оборудуются несколькими ступенями фильтров. Благодаря ступенчатому удалению частиц можно обеспечить подачу газов с высокой степенью очистки. Фильтры, которые применяются внутри чистых помещений и устанавливаются непосредственно перед технологическим обор

Читать полностью

Очистка технологических газов - поддержание среды

В технологических газах содержатся примеси, которые оказывают влияние на характеристики полупроводниковых приборов. Следовательно, концентрацию примесей необходимо снижать до уровня, соответствующего условиям применения технологических газов. Рассмотрим типовые методы очистки технологических газ

Читать полностью

Требования, предъявляемые к технологическим газам - поддержание среды

Виды технологических газов и их применение Технологические газы, обычно используемые в полупроводниковом производстве: азот, кислород, водород, аргон и другие газы. Типичными примерами могут служить применение водорода в качестве среды при эпитаксиальном выращивании из газовой фазы и применен

Читать полностью

Газы, используемые в процессах формирования полупроводниковых структур - поддержание среды

Уровень очистки кремния, из которого изготовляются пластины, должен быть выше 99,99%. В связи с этим газы, применяемые для эпитаксиального наращивания, легирования и в других процессах обработки полупроводниковых материалов, должны иметь высокую чистоту, необходимую для пластин. Однако в полупро

Читать полностью

Меры безопасной работы вытяжных систем - поддержание среды

Функционирование вытяжного оборудования в чистых комнатах должно отвечать правилам безопасности, гарантирующим нормальные условия работы персонала, а в качестве альтернативы аварийным ситуациям должна быть предусмотрена резервная система обработки газов. При остановке системы вытяжной вентиля

Читать полностью

Схема обработки в блоках - поддержание среды

Данная схема предполагает, что в каждой комнате оборудуется своя собственная установка обработки газов. Преимущества данной схемы: • более экономична, чем централизованная схема, • поскольку к каждой установке переработки подключается отдельный трубопровод, в случае аварии возможно подключе

Читать полностью