Поддержание среды

Основные методы фильтрации химических реактивов - поддержание среды

Частицы, содержащиеся в жидких, средах, оказывают значительное влияние на выход годных в производстве БИС. В процессе достижения приемлемого уровня очистки жидкостей приходится сталкиваться с рядом трудностей. Процесс защитной фильтрации Все жидкости, подаваемые в чистую комнату и отфильтр

Читать полностью

Уровень загрязнения химических реактивов - поддержание среды

Размер микрочастиц, вызывающих дефекты в процессе производства БИС, с каждым годом уменьшается. Как уже было показано ранее, для динамических МОП ЗУПВ емкостью 256 кбит это уже частицы размером более 0,15 мкм. Наблюдение таких частиц недоступно глазу человека и близко к пределу оптических микрос

Читать полностью

Фильтрация жидкостей, применяемых в производстве полупроводниковых приборов - поддержание среды

На современном этапе развития микроэлектроники, который характеризуется дальнейшим увеличением степени интеграции и уменьшением размеров элементов, в чистых помещениях необходимы среды с классом чистоты 100 и выше. Для этого нужны более эффективные фильтры. Назрела необходимость перехода от филь

Читать полностью

Методы очистки, применяемые в полупроводниковом производстве - поддержание среды

Влажная очистка Как уже отмечалось выше, существуют различные виды загрязнения полупроводниковых пластин и формы их прилипания к поверхности, поэтому необходимо применять соответствующие моющие средства и методы очистки. В зависимости от вида удаляемых загрязнений применяются различные комбин

Читать полностью

Влияние загрязнений на характеристики приборов - поддержание среды

Примеси и микрочастицы, загрязняющие поверхность пластин, сравнительно легко удаляются на начальных стадиях обработки. Однако в дальнейшем в ходе выполнения технологических операций образуется пленка естественного оксида, адгезия увеличивается и при термической обработке происходит диффузия загр

Читать полностью

Объекты очистки и источники загрязнения - поддержание среды

В процессах изготовления полупроводниковых приборов очистке подвергаются пластины, фотошаблоны, различные инструменты, реакторы технологических установок, элементы газовых магистралей и другие компоненты технологического оборудования. Ниже будет рассмотрена только очистка полупроводниковых пласт

Читать полностью

Обслуживание системы очистки - поддержание среды

Думается, излишне говорить, что для того чтобы система обеспечивала гарантированную подачу сверхчистой воды с заданными показателями, необходимо ее обслуживание. Сюда входят и регулярные работы по стерилизации с целью ограничения концентрации микроорганизмов в пределах, заданных стандартом. По д

Читать полностью

Трубопроводы и функционирование системы - поддержание среды

Получение сверхчистой воды невозможно, если будет происходить ее повторное загрязнение от материалов трубопроводов или из-за неправильной эксплуатации системы. Образование примесей из материалов трубопроводов не допускается. Наличие микроотверстий на внутренней поверхности труб может стать причи

Читать полностью

Получение чистой воды для полупроводникового производства - поддержание среды

Схема получения сверхчистой воды для производства СБИС. Часть процессов от предварительной обработки до сбора в емкость называют первичной стадией получения простой чистой воды, а остальную часть - стадией получения сверхчистой воды. Первичная стадия получения чистой воды Оборудование для

Читать полностью

Технология получения чистой воды - поддержание среды

Удаление содержащихся в воде примесей основано на традиционном методе фильтрации-разделения и разработанном в последнее время методе разделения с помощью мембран. Оценка возможностей методов дается по четырехбальной системе. Применение всех методов не обязательно, и выбор определяется свойствами

Читать полностью