Поддержание среды

Механизм возникновения статического электричества - поддержание среды

Известно, что проводники (металлы и их сплавы) и полупроводники, например в транзисторах, хорошо проводят электричество. Это явление описывается уравнениями электродинамики (движение электрических зарядов). И наоборот, материалы, плохо проводящие электрический ток, а также изолированные проводни

Читать полностью

Помещения с микровибрационной средой - поддержание среды

В зависимости от технологических процессов полупроводникового производства и характеристик оборудования можно установить предельно допустимые значения вибрационных характеристик помещения, в частности вибраций пола (плит перекрытия). Допустимые значения вибрационных характеристик Допустимы

Читать полностью

Технологическое оборудование - поддержание среды

Трубопровод, соединяющий баллон с моносиланом и установку газофазной эпитаксии, должен быть по возможности коротким, иметь минимальное число соединений и изготавливаться из нержавеющей стали, а соединения должны быть плотными и быстроразъемными. Для мгновенного отключения основного баллона с

Читать полностью

Проблемы, связанные с технологическим оборудованием, и меры безопасности - поддержание среды

Повышение степени интеграции полупроводниковых приборов сопровождается возрастанием технического уровня и усложнением производства. В технологическом процессе используется все большее число различных химических реактивов и газов, различные виды энергии и разнообразное оборудование, причем энерги

Читать полностью

Вентиляционные каналы - поддержание среды

Довольно часто вентиляционные каналы прокладываются под полом или за потолком, т. е. в скрытых местах, и возникновение пожара может быть обнаружено не сразу. По этой причине необходимо использовать вентиляционные трубы, выполненные из негорючих материалов, а если это невозможно, то с целью быстр

Читать полностью

Проблемы, связанные с устройствами регулировки воздушного потока, и меры безопасности - поддержание среды

В процессе полупроводникового производства необходимы активный контроль и регулировка чистоты воздуха в помещении, его температуры и влажности. Чем выше степень интеграции полупроводниковых приборов, тем более высокие требования предъявляются к чистоте среды и точности контроля температуры и вла

Читать полностью

Конструктивные особенности чистого помещения - поддержание среды

Классификация чистых комнат по классам чистоты является общепринятой. Такая классификация помогает поддерживать требуемую степень чистоты в помещении и снижать энергопотребление вентиляционного оборудования. При этом в каждом помещении образуются смежные комнаты, разделенные стенками или перегор

Читать полностью

Безопасность и профилактика аварий в чистых помещениях - поддержание среды

За последние годы в полупроводниковом производстве наряду с ростом объемов производства произошел переход к БИС и СБИС, что означает повышение степени интеграции и уровня развития этой области техники. Для потребителей полупроводниковых приборов переход к более высокой степени; интеграции связан

Читать полностью

Приборы для устранения электростатического заряда - поддержание среды

Измеряемые параметры Чтобы контролировать процесс образования статического электричества и таким образом предотвращать его отрицательное воздействие, необходимо научиться измерять параметры, связанные со статическим электричеством. Сюда входят: 1. Контроль предрасположенности объектов

Читать полностью

Устранение электростатического заряда - поддержание среды

Стекание заряда с непроводящих электричество предметов легко осуществить путем повышения их электропроводности. Для этого на поверхность предметов методом окрашивания или окунания наносится вещество, предупреждающее электризацию. Поверхностный слой, нанесенный любым из этих методов, поглощает вл

Читать полностью