Контроль чистоты

Контроль спецодежды, применяемой персоналом в чистых комнатах - контроль чистоты

Чистые комнаты в последнее время нашли широкое применение не только в электронике, в полупроводниковом производстве, в производстве прецизионной техники, в фармацевтической промышленности и в биологически чистых зонах больниц, но и в других областях, в частности в пищевой промышленности, сельско

Читать полностью

Контроль температуры и влажности - контроль чистоты

В процессе изготовления полупроводниковых приборов кроме контроля чистоты среды необходим контроль за соответствием температуры и влажности производственной среды заданным стандартным условиям. При этом наиболее жесткий контроль этих параметров требуется на участках изготовления фотошаблонов и в

Читать полностью

Федеральный стандарт 209 В - контроль чистоты

Для обеспечения нужного класса чистоты и правильной эксплуатации чистых комнат требуется организация постоянного контроля за работой фильтров, вентиляционных систем и управляющих устройств, а также составление тестовых листов. Комплексный контроль состояния чистой комнаты, как правило, с помощью

Читать полностью

Контроль чистоты в чистой комнате - контроль чистоты

Основные мероприятия контроля. Предотвращение занесения пыли в помещение 1. Монтаж НЕРА-фильтра в устройстве подачи воздуха и его надлежащий контроль 2. Поддержание избыточного давления ( 1,0 мм вод.ст) в чистом помещении 3. Устранение утечек воздуха в соедини

Читать полностью

Контроль чистоты среды - контроль чистоты

В чистых комнатах, используемых в полупроводниковом производстве, роль различных источников загрязнения по эмпирическим данным может быть отображена следующим образом (в процентах): люминесцентной микроскопии и микроскопии в световом поле. Из таблицы видно, что половина загрязнений вызвана персо

Читать полностью

Применение химических реактивов - контроль чистоты

Между дефектами в оксидном слое и загрязнениями лицевой поверхности кремния существует тесная связь. Улучшение состояния производственной среды приводит к значительному уменьшению дефектности оксидных слоев. Процент брака, вызванного электрическим пробоем оксидного слоя толщиной 10,0 нм в резуль

Читать полностью

Технология производства бис и степень чистоты - контроль чистоты

Технология производства БИС включает в себя целый ряд отдельных технологических процессов, а именно окисление, диффузию, нанесение слоев, травление, ионную имплантацию, фотолитографию, предварительную обработку и др. Так, для появившихся в последнее время структур с многослойной разводкой технол

Читать полностью

Пошив спецодежды для использования в чистых комнатах - контроль чистоты

Пошив спецодежды для чистых комнат, как и материал, из которого изготавливается спецодежда, оказывает существенное влияние на свойства спецодежды. Поэтому самое серьезное внимание должно уделяться не только методу пошива, но и антистатической обработке, качеству швейных ниток, застежки и других

Читать полностью