Контроль чистоты

Контроль среды в чистых помещениях - контроль чистоты

Необходимость использования чистых помещений. В полупроводниковом производстве пыль является существенным фактором снижения процента выхода годных и увеличения дефектности изделий. Очевидно, что частицы пыли становятся причинами дефектов, даже если их размеры гораздо меньше ширины линии или шири

Читать полностью

Методы определения концентрации отдельных субмикронных частиц - контроль чистоты

Вообще, определение концентрации отдельных микрочастиц по массе неприменимо в сверхчистых средах. Так, для массового анализа с высокой чувствительностью применяется метод пьезобаланса с использованием кварцевого резонатора. Массовая концентрация определяется по изменению частоты в течение 2 мин.

Читать полностью

Методы анализа субмикронных частиц - контроль чистоты

Для классификации субмикронных частиц используются и физические, и химические методы. Силой инерции микрочастиц можно пренебречь и считать движение частиц субмикронного размера в воздушной среде диффузионным. Один из методов классификации таких частиц основан на броуновском движении. Приборы для

Читать полностью

Измерение уровня чистоты - контроль чистоты

Для современных полупроводниковых производств уровень чистоты должен соответствовать классу 10 по частицам размером 0,1 мкм. Распределение частиц по размерам в этом классе показано на рисунке, где приведены и другие классы соответственно стандарту 209В. Из рисунка следует, что указанный стандарт

Читать полностью

Измерение температуры и влажности - контроль чистоты

В сверхчистых помещениях для производства СБИС необходимо обеспечивать не только высокую степень чистоты, но и постоянство параметров воздушной среды. В процессе изготовления шаблонов, нанесения резистов, сушки и экспонирования средняя температура в помещении должна составлять 20-24° С, а точнос

Читать полностью

Измерение скорости воздушных потоков и степени турбулизации - контроль чистоты

При измерении скорости малоскоростных воздушных потоков в чистых помещениях международными стандартами рекомендуется использовать тепловые анемометры с точностью измерения + 2% от максимальной скорости потока, что составляет примерно 3 см/с. Действие тепловых анемометров основано на охлаждени

Читать полностью

Визуализация потоков - контроль чистоты

Визуализация воздушного потока является наиболее простым средством наблюдения за характером движения воздуха при ламинарном течении, однако в сверхчистых помещениях допустимы далеко не все обычно применяющиеся средства. Введение в воздух дыма и определение визуально или по фотографиям линий т

Читать полностью

Определение характера движения воздушных потоков - контроль чистоты

В сверхчистых помещениях скорость движения воздуха, выходящего из НЕРА-фильтров, снижается до 0,5 м/с по сравнению с 1 -3 м/с в зоне обслуживания чистых помещений, вследствие чего он имеет очень малую степень турбулизации. В соответствии с международными стандартами рекомендуется формировать воз

Читать полностью

Оптическая система LAS-X - контроль чистоты

Лазерный измеритель pms las-x для определения микрочастиц размером более 0,09 мкм. Прибор является измерителем распределения субмикронных частиц по размерам. Источником излучения служит He-Ne одномодовый лазер с выходной мощностью 2 мВт. Минимальный размер определяемых микрочастиц 0,09 мкм, р

Читать полностью

Виды спецодежды для персонала чистых комнат - контроль чистоты

К спецодежде для персонала чистых комнат предъявляются следующие основные требования: спецодежда не должна быть источником загрязнений и, кроме того, должна предотвращать выделение загрязнений человеком, обладать защитными свойствами, быть удобной в носке и в работе, красивой. При этом желательн

Читать полностью