Контроль чистоты

Контроль над влажностью и вентиляцией в помещении

Контроль над влажностью и вентиляцией является неотъемлемой частью создания нужной атмосферы для здоровья и комфорта. Мы рассматриваем обычные методы контроля с акцентом на количество затраченной энергии. Контроль над влажностью Влажность накапливается в доме от купания людей, дождей, пригот

Читать полностью

Градуировка счетчиков субмикронных частиц - контроль чистоты

Эксплуатация счетчиков микрочастиц, действующих как по принципу определения подвижности, так и на основе метода конденсации на микрочастицах, невозможна без градуировки. Для этого необходимо иметь приборы для получения стандартных субмикронных частиц и для определения их размеров и концентрации.

Читать полностью

Контроль и поддержание чистоты в ЧПП - контроль чистоты

Современные СБИС с объемом памяти 256 кбит на кристалл имеют минимальную ширину линии 1,5-2 мкм, а СБИС с объемом памяти 1 Мбит уже 1,0-1,5 мкм. При памяти свыше 4 Мбит этот параметр переходит в субмикронную область. Наносимые из газовой фазы оксидные пленки имеют сейчас субмикронные толщины, а

Читать полностью

Счетчики для контроля среды - контроль чистоты

По мнению автора, для контроля среды необходимы датчики с расходом воздуха, забираемого для анализа, по меньшей мере 5 л/мин. Однако датчики с таким расходом для частиц диаметром 0,1 мкм еще не разработаны. В этом случае необходимо рассмотреть вопрос косвенного измерения числа частиц или замены

Читать полностью

Датчики контроля среды - контроль чистоты

Техника для регистрации взвешенных в воздухе частиц широко представлена в научно-технической литературе, и здесь приведены лишь краткие сведения по этому вопросу. Основное внимание уделено датчикам счетчиков взвешенных в воздухе частиц, основанных на эффекте рассеяния света. Такие датчики примен

Читать полностью

Значение систем контроля среды - контроль чистоты

По существу до тех пор пока технологический процесс проходит нормально, система контроля среды предоставляет информацию в заданных параметрах. Стоимость и характеристики системы определяются тем, как она оценивает причины дефектов при аномальном течении процесса. Однако параметров, количественно

Читать полностью

Системы для контроля среды в чистых помещениях - контроль чистоты

Чистые производственные помещения (ЧПП) нашли очень широкое распространение в приоритетных отраслях промышленности и особенно в микроэлектронике. Этот факт объясняется тем, что они позволяют решать задачу предотвращения производственного брака, связанного с прилипанием взвешенных в воздухе части

Читать полностью

Методика измерения - контроль чистоты

Определение микрочастиц в чистых помещениях рассмотрим на примере счетчика LPC-555. Система снабжена микрокомпьютером и позволяет измерять концентрацию в 10 точках одним блоком датчиков путем автоматического переключения воздухозаборных труб. Краткое описание многопозиционной системы измерени

Читать полностью

Приборы для контроля чистоты помещений - контроль чистоты

В последние годы из-за необходимости точного измерения степени чистоты в чистых помещениях повысился спрос на лазерные счетчики микрочастиц с повышенным расходом анализируемого воздуха. Ниже кратко рассматриваются выпускаемые фирмой PMS счетчики LPC-101 и LPC-555 с минимальным размером определяе

Читать полностью

Измерение микрочастиц лазером - контроль чистоты

Интенсивность рассеянного света. Если размер частицы значительно превышает длину волны излучения, то сечение рассеяния в два раза превышает сечение частицы и составляет примерно (1/2)?d2, где d-диаметр частицы. При размере частицы, близком к длине волны, наблюдается рассеяние Ми и при значительн

Читать полностью