Оборудование для очистки воздуха

Виды фильтров - оборудование

Согласно стандарту IES, фильтры по своим характеристикам подразделяются на 5 основных видов. 1. Фильтры А-типа. При стандартном расходе воздуха эффективность фильтрации этих фильтров для 0,3-мкм DOP-частиц превышает 99,97%. 2. Фильтры В-типа. При стандартном расходе воздуха, а также при уч

Читать полностью

Устройства регулировки воздушного потока - оборудование

Устройства регулировки воздушного потока в чистых комнатах обычно представляют собой сандвич-структуру, состоящую из набора пластин. Они имеют прекрасные рабочие характеристики, герметичность и не выделяют пыли. В таких устройствах сверху над фильтром средней эффективности используется облицовоч

Читать полностью

Контроль температуры и влажности - оборудование

Чистые термоконстантные камеры широко используются в процессах фотоэкспонирования. В настоящее время установки совмещения, мультипликации, электронно-лучевого экспонирования в технологическом процессе часто размещаются в отдельных камерах с индивидуальным регулированием температуры в каждой из н

Читать полностью

Выбор НЕРА-фильтра - оборудование

Характеристики чистоты среды можно приблизительно подсчитать на базе данных, приведенных и рассчитанных в предыдущих разделах. При этом следует учитывать необходимость введения соответствующих изменений после начала работы в чистой камере. В настоящее время на практике широко используются НЕРА-ф

Читать полностью

Коэффициент пропускания воздушного потока в зону прохода - оборудование

С целью поддержания избыточного давления воздуха в рабочей зоне и предотвращения проникновения воздуха из зоны прохода в рабочую зону целесообразно использовать метод подачи воздуха через НЕРА - фильтр в зону прохода в определенном ограниченном количестве. Если принять воздушный поток б0 (м3/мин

Читать полностью

Определение степени чистоты - оборудование

Решая задачу определения и обеспечения необходимой для данного процесса степени чистоты, необходимо изучить исходные данные процесса, предварительно зафиксировать возможные условия его существования и после завершения работы по монтажу чистой комнаты сформулировать рекомендации по необходимым из

Читать полностью

Степень чистоты среды и ее оценка - оборудование

Степень чистоты, необходимая в каждом процессе, устанавливается на основе определения размеров и концентрации загрязняющих частиц в рабочей зоне технологического процесса на объекте измерения чистоты (например, на поверхности пластины) с учетом возможности возникновения в результате влияния этих

Читать полностью

Распределение воздушных потоков - оборудование

В чистой камере должно быть обеспечено пропорциональное распределение воздушных потоков очищенного воздуха, поступающего через НЕРА -фильтр и выбрасываемого через окно вытяжки в задней панели и через вытяжное отверстие в зоне прохода в полу. Это необходимо для того, чтобы предотвратить проникнов

Читать полностью

Баланс скорости воздушного потока - оборудование

Баланс скорости воздушного потока является важным фактором уменьшения температурной неравномерности в рабочей зоне и предотвращения возможности образования остаточных загрязнений. С этой точки зрения желательно, чтобы колебания скорости воздушного потока по отношению к среднему ее значению под Н

Читать полностью

Средняя величина скорости воздушного потока - оборудование

Обозначим среднюю величину скорости воздушного потока непосредственно под НЕРА -фильтром (в 100-150 мм от поверхности фильтра) 1?0(м/с), а среднюю величину скорости воздушного потока в точке измерения (2/3 Н) — у (м/с). Тогда коэффициент затухания можно определить по формуле K = l - v/v0. При v0

Читать полностью