Оборудование для очистки воздуха
3.9.2012
Концентрация частиц пыли в воздухе чистой комнаты контролируется в пределах определенного диапазона. В частности, в сверхчистых комнатах класса чистоты 10 необходимо контролировать в воздушной среде взвешенные частицы пыли размерами до 0,1 мкм. Для этой цели требуются фильтры с высокой эффективн
Читать полностью
3.9.2012
В полупроводниковом производстве среди всех включаемых в него процессов обработка пластин требует наиболее жесткого контроля чистоты среды. Особо важное значение имеют включаемые в процесс фотолитографии этапы нанесения резиста, совмещение фотошаблона и экспонирование, а также травление. В частн
Читать полностью
3.9.2012
При чрезвычайно жестких рекомендациях, связанных с обеспечением сверхчистоты среды, и с учетом того, что во множестве случаев производство организуется на небольших, герметично изолированных производственных участках, конечный результат в большой степени определяется сознательным отношением к св
Читать полностью
3.9.2012
Параметры фильтрующего элемента, разумеется, имеют большое значение, однако для получения высоких технических данных фильтрующей системы в целом решающее значение имеют также свойства крепежной рамки фильтра и герметичности ее соединения с фильтрующими элементами. Система герметизации, представл
Читать полностью
3.9.2012
Можно ожидать, что тенденция уменьшения размеров элементов СБИС приведет к необходимости контролировать взвешенные в воздухе частицы в производственном помещении вплоть до размеров от 0,1 до 0,05 мкм. При этом возникает вопрос, можно ли будет использовать для осуществления такой степени очистки
Читать полностью
3.9.2012
Тест сканированием, применяемый для контроля всех видов фильтров С- и D-типов, осуществляется путем контроля и регистрации точечных отверстий, вызывающих микроскопические утечки в фильтре.
Упрощенная схема проведения теста сканированием . Всасывающее отверстие зондовой трубки фотометра фикси
Читать полностью
3.9.2012
Контроль и испытания фильтров С-типа и D-типа для сверхчистых комнат проводятся по всем пунктам. Наиболее важным является функциональный контроль, который включает измерения эффективности фильтрации и тест сканированием. Измерения потерь давления воздуха при фильтрации производятся одновременно
Читать полностью
3.9.2012
Характеристика и установленный стандарт:
1. Потери давления менее 7% веса компонентов.
В ULPA-фильтрах стеклянные волокна с малым диаметром составляют гораздо большую часть, чем в НЕРА-фильтрах. Средний расчетный диаметр стеклянных волокон в НЕРА- и ULPA-фильтрах, составляет 0,63 и 0,37
Читать полностью
3.9.2012
Фильтры состоят из рамки, уплотняющей прокладки, клеящего вещества, сепаратора и фильтрующих элементов.
1. Рамка:
1) стальная оцинкованная пластина (толщина более 1,6 мм);
2) пластина из нержавеющей стали (толщина более 1,6 мм);
3) клееная фанера (толщина 19 мм);
4) алюминиевая пластина (
Читать полностью
3.9.2012
Метод TDC-образование фланца путем гибки краев стального листа вентиляционного канала.
Типичным материалом является неопреновая резина. Толщина прокладок выбирается в диапазоне 3-5 мм в зависимости от жесткости уплотнения. Если материал мягкий, то выбирается толщина прокладки 5 мм, если жестк
Читать полностью