Оборудование для очистки воздуха

НЕРА- и ULPA- фильтры для чистых комнат - оборудование

Концентрация частиц пыли в воздухе чистой комнаты контролируется в пределах определенного диапазона. В частности, в сверхчистых комнатах класса чистоты 10 необходимо контролировать в воздушной среде взвешенные частицы пыли размерами до 0,1 мкм. Для этой цели требуются фильтры с высокой эффективн

Читать полностью

Необходимый уровень контроля среды - оборудование

В полупроводниковом производстве среди всех включаемых в него процессов обработка пластин требует наиболее жесткого контроля чистоты среды. Особо важное значение имеют включаемые в процесс фотолитографии этапы нанесения резиста, совмещение фотошаблона и экспонирование, а также травление. В частн

Читать полностью

Очистка воздуха и контроль чистоты среды в помещении - оборудование

При чрезвычайно жестких рекомендациях, связанных с обеспечением сверхчистоты среды, и с учетом того, что во множестве случаев производство организуется на небольших, герметично изолированных производственных участках, конечный результат в большой степени определяется сознательным отношением к св

Читать полностью

Технические данные - оборудование

Параметры фильтрующего элемента, разумеется, имеют большое значение, однако для получения высоких технических данных фильтрующей системы в целом решающее значение имеют также свойства крепежной рамки фильтра и герметичности ее соединения с фильтрующими элементами. Система герметизации, представл

Читать полностью

Возможности фильтров - оборудование

Можно ожидать, что тенденция уменьшения размеров элементов СБИС приведет к необходимости контролировать взвешенные в воздухе частицы в производственном помещении вплоть до размеров от 0,1 до 0,05 мкм. При этом возникает вопрос, можно ли будет использовать для осуществления такой степени очистки

Читать полностью

Тест сканированием - оборудование

Тест сканированием, применяемый для контроля всех видов фильтров С- и D-типов, осуществляется путем контроля и регистрации точечных отверстий, вызывающих микроскопические утечки в фильтре. Упрощенная схема проведения теста сканированием . Всасывающее отверстие зондовой трубки фотометра фикси

Читать полностью

Контроль фильтров - оборудование

Контроль и испытания фильтров С-типа и D-типа для сверхчистых комнат проводятся по всем пунктам. Наиболее важным является функциональный контроль, который включает измерения эффективности фильтрации и тест сканированием. Измерения потерь давления воздуха при фильтрации производятся одновременно

Читать полностью

Характеристики фильтрующих прокладок (MIL-F-51079 С) - оборудование

Характеристика и установленный стандарт: 1. Потери давления менее 7% веса компонентов. В ULPA-фильтрах стеклянные волокна с малым диаметром составляют гораздо большую часть, чем в НЕРА-фильтрах. Средний расчетный диаметр стеклянных волокон в НЕРА- и ULPA-фильтрах, составляет 0,63 и 0,37

Читать полностью

Элементы фильтров - оборудование

Фильтры состоят из рамки, уплотняющей прокладки, клеящего вещества, сепаратора и фильтрующих элементов. 1. Рамка: 1) стальная оцинкованная пластина (толщина более 1,6 мм); 2) пластина из нержавеющей стали (толщина более 1,6 мм); 3) клееная фанера (толщина 19 мм); 4) алюминиевая пластина (

Читать полностью

Меры по предотвращению утечек в области фланца - оборудование

Метод TDC-образование фланца путем гибки краев стального листа вентиляционного канала. Типичным материалом является неопреновая резина. Толщина прокладок выбирается в диапазоне 3-5 мм в зависимости от жесткости уплотнения. Если материал мягкий, то выбирается толщина прокладки 5 мм, если жестк

Читать полностью