Чистые помещения

О методах регулирования мпературы и влажности - чистые помещения

Показана относительная интенсивность кондиционирования в сверхчистых помещениях, предназначенных для обработки кремниевых пластин. Обращает на себя внимание тот факт, что кондиционирование необходимо на всех этапах технологического процесса, в связи, с чем системы контроля и регулирования темпер

Читать полностью

Анализ воздушных потоков и движение микрочастиц - чистые помещения

Для повышения чистоты воздуха в помещении необходимо снижать количество выделяющейся в помещении пыли, увеличивать расход циркулирующего воздуха и использовать фильтры с большими коэффициентами фильтрации. Вместе с тем важным является выполнение условия ламинарности движения воздуха в помещении.

Читать полностью

Устройство сверхчистых помещений - чистые помещения

Степень чистоты атмосферного воздуха на высоте 4 км от поверхности Земли соответствует классу 100. У поверхности Земли без вентиляции и фильтрации воздуха создать подобную чистую воздушную среду в производственных помещениях практически невозможно. Вообще, в чистых помещениях существует и лам

Читать полностью

Необходимость сверхчистых помещений - чистые помещения

Быстрое развитие полупроводниковой промышленности в значительной степени сдерживается и количеством и качеством современных чистых помещений. Действующие в настоящее время стандарты на чистые помещения не отражают возросших требований по чистоте, ощущается необходимость в стандартизации помещени

Читать полностью

Снижение энергозатрат в вентиляционной системе - чистые помещения

В чистых помещениях с характерными для них большими расходами вентилируемого воздуха затраты энергии на перенос воздуха определяются в основном сопротивлением воздуховодов. Снизить эти затраты можно уменьшением объема вентилируемого воздуха, снижением аэродинамического сопротивления воздуховодов

Читать полностью

Потребление энергии источниками тепла - чистые помещения

Снизить потребление энергии, расходуемой на источники тепла, практически можно путем снижения тепловой нагрузки помещения и применения систем утилизации тепла. Наиболее эффективным средством снижения тепловой нагрузки помещения является уменьшение энергозатрат на кондиционирование атмосферног

Читать полностью

Количественная оценка энергетических затрат - чистые помещения

Энергия, потребляемая в чистых помещениях при производстве ИС, складывается в основном из энергии технологических установок и энергетических затрат на вентиляцию. В чистых помещениях обычно велика мощность вентиляторов в системе циркуляции чистого воздуха и относительно невелики общие затраты эн

Читать полностью

Чистые помещения и потребление энергии - чистые помещения

Очистка воздуха и поддержание постоянной температуры и влажности в чистых помещениях ведут к 10-20-кратному увеличению потребления энергии по сравнению с обычными производственными помещениями. В связи с этим вопрос об экономии энергии в чистых помещениях приобретает особое значение. В полупр

Читать полностью

Применение сверхчистых помещений - чистые помещения

Не только в сверхчистых, но и в чистых помещениях узловым моментом остается выяснение степени чистоты, необходимой для проведения конкретного технологического процесса, и на этом основании – выбор системы чистых помещений. В зависимости от этого полностью видоизменяется планировка помещения. Выб

Читать полностью

Чистые помещения для обработки кремниевых пластин - чистые помещения

Этапы сборки и контроля, которые проводятся после пассивации ИС, не требуют высокочистых сред и помещений, в то время как на стадии изготовления схемы необходимым технологическим условием являются особо чистые среды не ниже класса 10, которые практически полностью исключают доступ микрочастиц к

Читать полностью