Чистые помещения

Локальные сверхчистые помещения - чистые помещения

Расход циркулирующего воздуха в чистых помещениях в несколько десятков раз больше, чем в жилых зданиях, что приводит к многократному увеличению потребляемой энергии. Поэтому в ряде случаев отказываются от высокого уровня чистоты во всем помещении, выделяя внутри помещения отдельные зоны, в котор

Читать полностью

Некоторые рекомендации относительно фильтрации воздуха - чистые помещения

Показана система фильтрации воздуха в чистых помещениях. Воздух поступает в НЕРА-фильтр (или ULPA-фильтр) после предварительного фильтра для очистки атмосферного воздуха и промежуточного фильтра. В сверхчистых помещениях концентрация аэрозолей в воздухе перед входом в последний фильтр должна соо

Читать полностью

Рекомендации по проектированию вентиляции помещения - чистые помещения

Воздух, поступающий в чистые помещения, подвергается двум основным воздействиям: во-первых, тепловому воздействию источников тепла, находящихся в помещении, которое устраняется регулированием температуры в помещении; во-вторых, загрязняется пылью, выделяющейся в помещении. Степень загрязнения за

Читать полностью

Стабильность нера-фильтров - чистые помещения

В современных чистых помещениях, которые предназначены, прежде всего, для создания высокой чистоты в среде, нагнетание больших воздушных потоков производится системами, заканчивающимися НЕРА - фильтрами, и чистота воздуха в помещении в значительной степени определяется производительностью этих ф

Читать полностью

Создание высокочистой среды - чистые помещения

Не только в сверхчистых, но и в подавляющем большинстве чистых помещений целесообразно создавать уровень чистоты, соответствующий (но не превышающий) требуемому для данного конкретного процесса. В связи с этим, как уже сказано выше, обычно в чистых помещениях создается неодинаковый уровень чисто

Читать полностью

Точность контроля параметров среды - чистые помещения

В сверхчистых помещениях точность контроля концентрации микрочастиц размером ОД мкм составляет 350 м-3, а колебаний температуры + 0,1 С. Такие условия требуются на всех технологических этапах изготовления кремниевых микросхем, в том числе для операций подготовки кремниевых пластин перед первым о

Читать полностью

Проблемы проектирования сверхчистых помещений - чистые помещения

Основные регулируемые параметры и пределы регулирования. В конечном счете, основными целями применения чистых помещений на промышленных предприятиях и в исследовательских институтах являются в первом случае повышение качества и надежности изделий за счет их большей однородности и во втором - улу

Читать полностью

От беспыльной к безлюдной технологии - чистые помещения

При полной автоматизации процесса производства должна быть решена задача автоматизированного переноса кремниевых пластин по всей технологической цепи. Тенденция к полной автоматизации наблюдается во многих производствах, но в полупроводниковой технологии эта проблема становится в настоящее время

Читать полностью

Типы систем чистых помещений - чистые помещения

Основные типы чистых помещений В настоящее время существует 7 основных типов систем чистых производственных помещений: 1) система с турбулентной циркуляцией (один НЕРА-фильтр на всю систему); 2) система с турбулентной циркуляцией (несколько НЕРА-фильтров, встроенных в каждую приточную линию

Читать полностью

Автоматизированные линии в полупроводниковой технологии - чистые помещения

Полупроводниковая технология включает три основных раздела: собственно процесс изготовления ИС на кремниевых пластинах, сборку, контроль и испытания. Исторически начальный период развития ИС вплоть до 1965 г. характеризуется практически полным отсутствием автоматизации, очень большой трудоемкост

Читать полностью