Чистые помещения

Метод герметизации - чистые помещения

Как уже было отмечено, в настоящее время техника поддержания сверхвысокой чистоты путем вентиляции высокочистым воздухом еще не отработана. Наиболее серьезными факторами, затрудняющими достижение сверхвысокой чистоты, являются, выделение пыли обслуживающим персоналом и производственным оборудова

Читать полностью

Примеси, содержащиеся в воздухе помещений - чистые помещения

Воздух внутри помещений содержит значительное количество загрязняющих веществ, которые в большинстве случаев представляют собой аэрозоли, газообразные органические и неорганические примеси и примеси биологического происхождения. Внешний воздух, поступающий в кондиционируемые помещения, составляе

Читать полностью

Взвешенные микрочастицы в помещениях класса 10 (0,1 мкм) и в атмосфере - чистые помещения

В настоящее время в чистых производственных помещениях, как правило, контролируются частицы размером не менее 0,5 мкм и лишь в некоторых случаях -частицы размером около 0,3 мкм. В современных СБИС МОП динамических ЗУПВ достигнута степень интеграции 256 кбит, и уже ведутся разработки СБИС со степ

Читать полностью

Распределение взвешенных частиц по размерам - чистые помещения

Концентрация по размерам взвешенных в атмосфере микрочастиц возрастает по мере уменьшения их размеров и достигает в некоторой точке пикового значения. Ниже изображены результаты исследования аэрозолей в воздухе района Токио, которые получил тремя раличными методами Хаякава. Из приведенных резуль

Читать полностью

Контроль взвешенных микрочастиц в чистых средах - чистые помещения

Движение частиц в газе определяется их размером и плотностью. В соответствии с уравнением Стокса скорость осаждения частиц пропорциональна квадрату их диаметра. Закон движения микрочастицы определяется ее размером, при этом зависимость скорости осаждения от диаметра частицы становится менее силь

Читать полностью

Малогабаритные комнаты со сверхчистой средой - чистые помещения

Наряду с чистыми помещениями коридорного типа сейчас получают распространение малогабаритные комнаты со сверхчистой средой и точным контролем температуры и влажности, предназначенные для изготовления прецизионных приборов, а также химические лаборатории с высокочистой средой. Рассмотрим состо

Читать полностью

Использование чистых помещений - чистые помещения

Возвращаясь к истории использования чистых помещений в электронной промышленности, в основе которой лежит производство полупроводников, отметим, что в процессе развития полупроводниковой технологии чистые помещения претерпели существенную эволюцию - от первых малогабаритных чистых комнат к больш

Читать полностью

О технике очистки воздуха - чистые помещения

Наиболее характерными особенностями современной промышленной продукции являются высокая однородность по составу материалов и высокая точность обработки изделий. Выпуск такой продукции немыслим без специальной производственной среды, в течение длительного времени обеспечивающей заданные условия в

Читать полностью

Размер, форма и плотность частиц - чистые помещения

Размер частиц в наибольшей степени определяет их поведение и оказывает наиболее сильное влияние на многие свойства аэрозолей. Почти для всех аэрозолей характерен широкий диапазон изменения размеров частиц. Распределение частиц по размерам также оказывает сильное влияние на свойства аэрозолей. По

Читать полностью

Очистка воздуха внутри помещений - чистые помещения

Системы очистки воздуха внутри помещений. В зависимости от требуемой степени чистоты и способа вентиляции системы очистки воздуха можно разделить на 4 типа: 1) Системы местной вытяжки. В тех случаях, когда велика концентрация загрязняющих веществ внутри чистого помещения или в нем выделяются

Читать полностью